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CMP是集成电路制作七大年夜关键装备之一，用于平整化工艺及铜互联工艺。电科装备迎难而上，两头发力。经严厉的万片“马拉松”测试，该装备今朝可媲美国际同类装备。据了解，在接上去的6个月里，200mmCMP装备要正式接受大年夜花费的考验，装备的牢固性和不合性将经受严厉考察。
换句话说，该设备械人的大年夜小与人类的卵细胞相差无几。另外，通过光电二极管半导体，这些微型的自力系统可以自行供电，不用电池。该系统可以将光能转化成微弱的电荷，以保证装备上搭载的情况传感器任务，同时在装备上储存信息。
